Migliora le prestazioni dei prodotti e l’efficienza della miscelazione, aumenta l’affidabilità e riduci i costi di produzione sfruttando la stampa diretta in metallo per produrre con fattori di forma ottimizzati e percorsi del gas più efficienti
20:1
riduzione del numero di componenti
100%
tenuta stagna
3x
maggiore efficienza

Riduzione del numero di parti e miglioramento dell’efficienza del trasporto e della miscelazione dei gas

A 3D printed Gas Mixer

Sezione trasversale di un miscelatore di gas con raffreddamento attivo stampato in 3D in metallo

Il trasporto di gas caustico in una camera di trattamento sigillata avviene normalmente negli impianti di trattamento a umido, ad esempio per la pulizia e l’incisione dei beni strumentali per semiconduttori. Il trasporto efficiente dei gas, separati o miscelati, senza perdite, con turbolenze del flusso limitate e attraverso aperture minime nella camera di trattamento, è quindi di fondamentale importanza. Questo comporta l’impiego di unità di miscelazione e alimentazione di gas complesse, formate da più componenti, realizzate con materiali resistenti ai gas corrosivi.

È possibile ottimizzare tali elementi utilizzando le soluzioni per la stampa 3D diretta in metallo e le competenze nel campo delle apparecchiature per semiconduttori di 3D Systems. I sistemi per il trasporto del gas possono essere progettati con un minor numero di componenti per adattarsi a spazi più ristretti e con un’affidabilità maggiore. Inoltre, è possibile sviluppare miscelatori di gas più complessi e ottimizzati in un tempo notevolmente inferiore, per una miscelazione più veloce e più efficace. 

Vantaggi della produzione additiva in metallo

  • Semiconductor Design Flexibility - Gas Conveyance

  • Flessibilità di progettazione

    La produzione additiva consente di progettare in modo ottimale, iterare rapidamente e produrre in tempi brevi alimentatori e miscelatori di gas entro spazi ristretti, con percorsi del gas sottoposti a modellazione numerica per la miscelazione efficiente e il trasporto affidabile dei gas verso la camera di trattamento.

  • Semiconductor Clean Room Environments

  • Qualità e precisione elevate per ambienti di camera bianca

    L’elevata qualità dei materiali, i dettagli e l’accuratezza delle parti prodotte in un’atmosfera inerte (a un livello di ossigeno fisso e bassissimo), unitamente a processi proprietari per la pulizia ottimale delle particelle, consentono di generare parti in metallo che soddisfano i requisiti di camera bianca, perfettamente adatte a essere utilizzate nelle apparecchiature per semiconduttori.

  • Background image

  • Prestazioni e produttività

    La riduzione della turbolenza del flusso di gas consente una distribuzione accurata e uniforme dei gas per la pulizia e l’incisione, aumentando l’efficienza complessiva del sistema e la resa per elaborare un maggior numero di wafer. Inoltre, la produzione additiva fornisce alimentatori di gas ottimizzati dal punto di vista strutturale con un numero inferiore di parti e assemblaggi. La sostituzione degli assemblaggi multiparte con parti monolitiche aumenta l’affidabilità, migliora la resa di produzione e riduce i costi di manodopera.

Ottimizzazione del trasporto e della miscelazione dei gas

  • Improve Gas Flow Efficiency - Gas Conveyance

    Miglioramento dell’efficienza del flusso di gas

    La produzione additiva offre agli ingegneri delle apparecchiature per semiconduttori una flessibilità di progettazione senza precedenti. Possono sviluppare nuovi modelli interni, forme di ugello e camere di miscelazione, ottimizzando il flusso e la miscelazione di gas per ottenere massime prestazioni ed efficienza.

  • a technician holding a wafer

    Maggiore affidabilità

    La produzione additiva consente di realizzare alimentatori e miscelatori di gas ottimizzati dal punto di vista strutturale con un numero inferiore di parti e assemblaggi. Questo aumenta notevolmente l’affidabilità dei componenti, eliminando le perdite di fluido nei punti di giunzione in condizioni di temperature e pressioni di esercizio estreme, per una maggiore integrità dei componenti.

  • Semiconductor Gas Mixer with ruler

    Riduzione al minimo del volume

    Le pareti più sottili e il consolidamento dei componenti garantiscono la tenuta stagna e una funzionalità più efficiente in spazi più ristretti. È possibile produrre elementi multiasse e volumi intrappolati con estrema facilità rispetto ai processi di produzione tradizionali.

Risorse

  • Semiconductor ebook cover

    Adozione rapida e scalabile della manifattura additiva in metallo

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  • Silicon Wafers and Microcircuits sitting on a robot arm

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